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半导体参数测试仪与MM探针台

型号:Agilent

产品价格:电议      采购度:239      发布时间:2020/5/21 13:50:37

仪器产地:中国大陆      所属地区:

简要描述: 半导体参数测试仪与MM探针台支持二管、三管、MOS管等半导体器件以及材料的直流电流-电压(I-V)测量,准静态和中频电容-电压(C-V)测量,时域测量等

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Agilent BA1500半导体参数测试仪与MM探针台











技术参数

探针台:

1.探针台主机:卡盘XY运动范围200mm*200mm,Z轴运动范围25mm

2.丝杆轴承确保移动,分辨率3.5um

3.针座:精度0.7um

4.加热台: 温度范围室温-400℃

 

半导体参数测试仪

1.直流I-V测试:

 

具有4路SMU,其中2路中等功率SMU,2路高分辨率SMU, 可同时测量zui小电压分辨率0.5μV、zui小电流分辨率0.1fA

2.C-V测试:频率1KHz-5MHz;偏置电压:±25V;测量精度±0.2 %

 

3.可实现C-V和I-V测量间自动切换,不会影响测量精度

4.脉冲IV:

提供两路快速IV/脉冲输出,具有任意波形产生功能

zui小脉冲宽度:50ns;脉冲电平范围:-5V~+5V,+/-10V~0V (50 Ω负载);电压测量精度:±0.1%读值, ±0.1% 量程;电流测量精度:±0.1% 读值, ± 0.2% 量程

 

 

适用范围

支持二管、三管、MOS管等半导体器件以及材料的直流电流-电压(I-V)测量,准静态和中频电容-电压(C-V)测量,时域测量等。

 

公司主要研发、制造和销售的检测仪器有:电压击穿试验仪、高压漏电起痕试验仪、耐电弧试验仪、铁电材料测试仪器、介电常数及介质损耗测试仪、表面及体积电阻率测试仪、压电材料测试仪器、热电材料测试仪器、绝缘材料电性能检测设备、高温管式炉\反射炉\气氛炉、高温电性能测试设备、静电检测仪器、硅橡胶\绝缘子行业测试设备、PCB\三防漆电子材料测试、电气薄膜电学检测仪器、高低压电气材料测试设备、电线电缆行业电学测试设备、高分子材料电学测试仪器、热分析仪器、电气安规检测仪器、半导体芯片类测试仪器等,可接定制仪器订单。

 

更新时间:2024/4/15 11:02:53

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