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高温快速炉的应用范围和优势

发布时间:2021/10/22 10:41:20阅读人数:344

 

高温快速炉的应用范围和优势

 

应用范围:

1.  电子材料

半导体用硅化合化的PRA(加热后急速冷却)

热源薄膜形成

激活离子注入后

硅化物的形成

2.  陶瓷与无机材料

陶瓷基板退火炉

玻璃基板退火炉。

  陶瓷张力、挠曲试验退火炉

3.  钢铁和金属材料

薄钢板加热过程的数值模拟

炉焊接模拟

高真空热处理(1000℃以下)

大气气体熔化过程

压力下耐火钢和合金的热循环试验炉

4.  复合材料

耐热性评价炉

无机复合材料热循环试验炉

5.  其它

高温拉伸压缩试验炉

  分段分区控制炉

温度梯度炉

炉气分析

超导陶瓷退火炉

设备优势:

高速加热与冷却方式

高能量的红外灯和镀金反射方式允许高速加热到高温。同时炉体可配置水冷系统,增设气体冷却装置,可实现快速冷却。

温度高精度控制

过红外镀金聚焦炉和温度控制器的组合使用,可以精确控制样品的温度(远比普通加温方式)。此外,冷却速度和保持在任何温度下可提供高精度。

不同环境下的加热与冷却

加热/冷却可用真空、气氛环境、低温(高纯度惰性气体静态或流动),操作简单,使用石英玻璃制成。红外线可传送到加热/冷却室。

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